检测项目
1.化学成分分析：纯度≥99.95%（4N5级），杂质元素含量≤50ppm（GDMS法）
2.密度测试：理论密度值0.5%（阿基米德法），孔隙率≤0.3%
3.晶粒尺寸测定：平均晶粒≤50μm（EBSD分析），晶界角度分布15-45
4.表面粗糙度：Ra≤0.8μm（白光干涉仪），平面度误差≤5μm/m
5.机械性能：维氏硬度HV0.2≥120，抗弯强度≥350MPa（三点弯曲法）
检测范围
1.金属靶材：高纯铜（Cu≥99.999%）、铝（Al≥99.995%）、钛（Ti≥99.99%）等
2.合金靶材：镍铬合金（Ni80/Cr20）、钴铁合金（Co50/Fe50）等
3.陶瓷靶材：氧化铟锡（ITO）、氮化铝（AlN）、碳化硅（SiC）等
4.贵金属靶材：金（Au≥99.999%）、铂（Pt≥99.99%）、钌（Ru≥99.95%）等
5.复合靶材：铜钼铜（CMC）、钛硅（Ti/Si）多层结构等
检测方法
ASTME2371-21电感耦合等离子体质谱法测定金属杂质
ISO2738:2018烧结金属材料密度和开孔率测定
GB/T13298-2015金属显微组织检验方法
GB/T4340.1-2009金属材料维氏硬度试验
ISO14705:2016精细陶瓷界面粗糙度测试规范
检测设备
1.ThermoFisherARLQUANT'XX荧光光谱仪：元素分析范围Be-U，检出限0.1ppm
2.MicromeriticsAccuPycII1340气体置换法密度仪：分辨率0.0001g/cm
3.ZEISSSigma500场发射扫描电镜：分辨率0.8nm@15kV，配备EBSD系统
4.BrukerD8ADVANCEX射线衍射仪：2θ角度精度0.0001，织构分析功能
5.ShimadzuHMV-G21ST显微硬度计：载荷范围10gf-2kgf，自动压痕测量
6.KeyenceVR-60003D轮廓仪：垂直分辨率1nm，扫描速度100mm/s
7.NetzschDIL402C热膨胀仪：温度范围-160℃-2000℃，膨胀系数精度5%
8.Agilent7900ICP-MS：质量数范围2-260amu，检出限ppt级
9.Instron5985万能试验机：最大载荷150kN，应变速率控制精度0.5%
10.OxfordInstrumentsAztecEnergyX-MaxNEDS系统：能谱分辨率127eV@MnKa
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
